عربی زبان سے ماخوذ اسم 'زاویہ' کے آخر پر 'کسرۂ اضافت' لگا کر عربی زبان ہی سے ماخوذ اسم 'انحراف' لگانے سے مرکب اضافی 'زاویہ انحراف' بنا۔ اردو میں بطور اسم مستعمل ملتا ہے۔ ١٩٢١ء کو "طبیعیات عملی" میں مستعمل ملتا ہے۔
١ - (ہیت) وہ زاویہ جس پر شعاع واقع کا رخ مڑ جاتا ہے۔
"روشنی کی شعاع منشور میں داخل ہو کر دوبارہ مڑتی ہے ایک بار داخل ہوتے ہوئے اور دوسری بار منشور سے نکلتے ہوئے جس زاویے پر شعاع واقع گھومتی ہے اسے زاویۂ انحراف کہتے ہیں"
( ١٩٦٧ء، مبادیات طبیعیات، ٣٢٦ )