فارسی زبان سے ماخوذ لفظ 'خود' کے بعد فارسی ہی سے ماخوذ اسم صفت 'آگاہ' کے ساتھ 'ی' بطور لاحقۂ کیفیت لگانے سے مرکب 'خود آگاہی' بنا۔ اردو میں بطور اسم مستعمل ہے۔ ١٩٣٥ء کو "بالِ جبریل" میں مستعمل ملتا ہے۔