عربی زبان سے مشتق اسم 'طہارت' کے آخر پر کسرۂ اضافت لگانے کے بعد عربی ہی سے مشتق اسم 'نفس' لگانے سے مرکب 'طہارتِ نفس' بنا۔ اردو میں بطور اسم مستعمل ہے۔ سب سے پہلے ١٩٨٥ء کو "تخلیقات و نگارشات" میں مستعمل ملتا ہے۔