عربی زبان سے مشتق اسم 'عزت' کے آخر پر کسرۂ اضافت لگانے کے بعد ہی اسم 'نفس' لگانے سے مرکب 'عزتِ نفس' بنا۔ اردو میں بطور اسم استعمال ہوتا ہے اور سب سے پہلے ١٩١٠ء کو "افادات مہدی" میں مستعمل ملتا ہے۔